ИСПОЛЬЗОВАНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ ОБРАБОТКИ РЕЗУЛЬТАТОВ РЕНТГЕНОВСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ И ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТОВ

Abstract

В статье при помощи авторского программного комплекса проводилось исследование диффузионно-барьерных слоев TiN на кремниевой подложке. В данной работе предложено использовать несколько методов исследования структур и объединить их в виде комплексного подхода, позволяющего не только повысить точность вычислений, но и разрешить большинство возникающих проблем при этом. На основе этого подхода был разработан автоматизированный программный комплекс рентгеноспектрального и рентгеноструктурного анализа для исследования элементного и фазового состава объектов, в том числе и для анализа рудных полезных ископаемых, который позволяет не только получать более полную и детальную картину об исследуемых объектах, но и увеличить порог чувствительности обнаружения отдельных элементов, не выявляемых отдельными методами анализа.